ナノパルスプラズマCVD 法により準大気圧合成されたDLC 膜の各種特性
ナノパルスプラズマCVD 法により準大気圧合成されたDLC 膜の各種特性
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使用纳脉冲等离子体CVD法在负压下合成的DLC薄膜的各种性能
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
大竹尚登
中科院分区：
文献类型：
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作者：
宮武直;大竹尚登
