Substrate heating effects on hardness of an x-A12O3 thick film formed by aerosol deposition method
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基体加热对气溶胶沉积法形成的 x-A12O3 厚膜硬度的影响
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Ito Tomokazu
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M. Lebedev;J. Akedo;Ito Tomokazu
