X線光電子顕微鏡を用いたDLC膜の損傷解析
X線光電子顕微鏡を用いたDLC膜の損傷解析
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X射线光电子显微镜下DLC膜损伤分析
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
大竹 尚登
中科院分区：
文献类型：
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作者：
赤坂 大樹 ; Tunmee Sarayut ; Rittihong Ukit ; 富所 優志 ; Euaruksakul Chanan ; Supruangnet Ratchadaporn ; Nakajima Hideki ; 法月 奏太 ; 平田 祐樹 ; 大竹 尚登
