スパッタリング法による Fe-F-C ナノ複相薄膜の構造と磁気－誘電特性
スパッタリング法による Fe-F-C ナノ複相薄膜の構造と磁気－誘電特性
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溅射法制备Fe-F-C纳米多相薄膜的结构和磁介电性能
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
増本 博
中科院分区：
文献类型：
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作者：
野川健太，曹 洋; 青木 英恵;小林 伸聖;大沼 繁弘;増本 博
