离子束溅射氧化钽薄膜的光学带隙特性

离子束溅射氧化钽薄膜的光学带隙特性
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DOI:
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发表时间:
2017
期刊:
光学精密工程
影响因子:
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通讯作者:
陈德应
陈德应
中科院分区:
其他
文献类型:
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作者:
刘华松;杨霄;王利栓;姜玉刚;季一勤;陈德应

文献摘要

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