Shigehiro Nishino: "Preparation of Single Crystalline Cubic SiC on Si Substrate by Radical Beam CVD." Thin Solid Films. (1992)

Shigehiro Nishino: "Preparation of Single Crystalline Cubic SiC on Si Substrate by Radical Beam CVD." Thin Solid Films. (1992)
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Shigehiro Nishino:“通过自由基束 CVD 在硅衬底上制备单晶立方 SiC。”

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