T.Nakamura, K.Tachibana: "Quantum Chemical Study on Negative Ions in Fluorocarbon Plasmas"Proceedings of the 25^<th> International Conference on Phenomena in Ionized Gases(XXV ICPIG). 145-146 (2001)
T.Nakamura, K.Tachibana: "Quantum Chemical Study on Negative Ions in Fluorocarbon Plasmas"Proceedings of the 25^<th> International Conference on Phenomena in Ionized Gases(XXV ICPIG). 145-146 (2001)
复制标题
T.Nakamura、K.Tachibana：“氟碳等离子体中负离子的量子化学研究”第 25 届国际电离气体现象会议 (XXV ICPIG) 论文集。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
