Understanding of low temperature fabrication process of oxide thin films in eximer laser-assisted metal organic deposition
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复制标题
了解准分子激光辅助金属有机沉积氧化物薄膜的低温制备工艺
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Tetsuo Tsuchiya,and Atsushi Yumoto
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Kentaro Shinoda;Tsukasa Katsuki;Tomohiko Nakajima;Tetsuo Tsuchiya,and Atsushi Yumoto
