単結晶MgO基板の原子平坦化プロセスの構築
単結晶MgO基板の原子平坦化プロセスの構築
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单晶MgO衬底原子平坦化工艺的构建
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
尾島拓海，田中日菜，伊原隆宏，木村豊，澤邊厚仁，大島龍司，會田英雄
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Hama;T.;Nishi;T.;Oka;M.;Matsuno;T.;Okitsu;Y.;Hayashi;S.;Takada;K.;and Takuda;H.;尾島拓海，田中日菜，伊原隆宏，木村豊，澤邊厚仁，大島龍司，會田英雄
