ミストCVD法により作製したナノ粒子分散(Zn,Mg)O薄膜へのアニールの効果

ミストCVD法により作製したナノ粒子分散(Zn,Mg)O薄膜へのアニールの効果
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退火对雾气CVD法制备纳米粒子分散(Zn,Mg)O薄膜的影响

DOI:
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发表时间:
2023
期刊:
電子情報通信学会技術研究報告
影响因子:
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通讯作者:
原和彦
原和彦
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
田中京輔;奈良俊宏;矢ヶ崎司;伊藤里樹;光野徹也;小南裕子;原和彦

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