RFマグネトロンスパッタ法を用いて作製したc軸平行配向ZnO膜の圧電不活性層低減に関する検討
RFマグネトロンスパッタ法を用いて作製したc軸平行配向ZnO膜の圧電不活性層低減に関する検討
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射频磁控溅射法c轴平行取向ZnO薄膜压电钝化层还原研究
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
柳谷
中科院分区：
文献类型：
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作者：
盛;高柳;松川;柳谷
