High-rate localized deposition of ZnO films by an inductively coupled argon microplasma in open air
High-rate localized deposition of ZnO films by an inductively coupled argon microplasma in open air
复制标题
露天感应耦合氩微等离子体高速局部沉积 ZnO 薄膜
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
K.Terashima
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S.Stauss;Y.Imanishi;H.Miyazoe;K.Terashima
