LPP光源を用いた透過型X線反射多層膜顕微鏡TXM3
LPP光源を用いた透過型X線反射多層膜顕微鏡TXM3
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使用LPP光源的透射型X射线反射多层显微镜TXM3
DOI:
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发表时间:
2009
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
山本正樹
中科院分区:
文献类型:
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作者:
江島丈雄;中村芳雅;豊田光紀;原田哲男;津留俊英;羽多野忠;柳原美広;山本正樹