Ultra-precision polishing method forsingle-crystal diamond substrate inhydrogen peroxide solution
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双晶金刚石基片在过氧化氢溶液中的超精密抛光方法
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Mutsumi Touge
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Akihisa Kubota;Shuya Motoyama;SakaeFukuyama;Mutsumi Touge
