超臨界流体堆積法によるキャパシタ用二酸化チタン薄膜の低温合成
超臨界流体堆積法によるキャパシタ用二酸化チタン薄膜の低温合成
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超临界流体沉积法低温合成电容器用二氧化钛薄膜
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
内田寛
中科院分区：
文献类型：
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作者：
中川祐希;早川右真;幸田清一郎;内田寛
