エバネッセント光を利用したナノ光造形法に関する研究(第3報)-定在エバネッセント強度分布制御法の確立-

エバネッセント光を利用したナノ光造形法に関する研究(第3報)-定在エバネッセント強度分布制御法の確立-
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利用倏逝光的纳米立体光刻技术研究(第3次报告) - 固定倏逝强度分布控制方法的建立 -

DOI:
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发表时间:
2004
期刊:
2004年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集 島根
影响因子:
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通讯作者:
高増潔
高増潔
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
稲月友一;梶原優介;高橋哲;高増潔

文献摘要

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