Gas flow sputtering : a versatile process for the growth of nanoparticles, nanopillars, and epitaxial thin films
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气流溅射：一种用于纳米颗粒、纳米柱和外延薄膜生长的通用工艺
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
K. Ishii
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H. Sakuma;K. Ishii
