SiO2/SiC 界面欠陥由来による局所DLTS 像の直流バイアス依存性観測

SiO2/SiC 界面欠陥由来による局所DLTS 像の直流バイアス依存性観測
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观察 SiO2/SiC 界面缺陷引起的局部 DLTS 图像的 DC 偏压依赖性

DOI:
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发表时间:
2016
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
茅根慎通,小杉亮治,田中保宣,原田信介,奥村元,長康雄
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中科院分区:
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文献类型:
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作者:
Koichi Hamaguchi;Seng Pei Liew;Martin Stoll.;茅根慎通,小杉亮治,田中保宣,原田信介,奥村元,長康雄

文献摘要

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