RCWA法によるサブ波長構造内の透過電磁場の抽出

RCWA法によるサブ波長構造内の透過電磁場の抽出
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RCWA法提取亚波长结构中的透射电磁场

DOI:
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发表时间:
2010
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
濱高
濱高
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
中杤;菊田;水谷;濱高

文献摘要

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