超臨界二酸化炭素流体中における薄膜堆積
超臨界二酸化炭素流体中における薄膜堆積
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超临界二氧化碳流体中的薄膜沉积
DOI：
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发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
近藤英一
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Naoto Takura;Jin Lianhua;Kondoh Eiichi;Gelloz Bernard;近藤英一
