ナノスケールシリコンモールドへのDLC保護膜の形成
ナノスケールシリコンモールドへのDLC保護膜の形成
复制标题
纳米级硅模具上DLC保护膜的形成
DOI：
--
复制
发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
加藤孝久
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
崔埈豪;中原優也;長藤圭介;朴元淳;加藤孝久
