垣内弘章・芳井熊安他: "高周波スパッタ蒸着法による多結晶Siの低温成膜に関する研究(第1報)" 精密工学会誌. 61[6]. 829-833 (1995)
垣内弘章・芳井熊安他: "高周波スパッタ蒸着法による多結晶Siの低温成膜に関する研究(第1報)" 精密工学会誌. 61[6]. 829-833 (1995)
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Hiroaki Kakiuchi、Kumasu Yoshii 等：“高频溅射沉积多晶硅低温成膜的研究（首次报告）”日本精密工程学会杂志 61[6]（1995 年）。 ）
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