結晶異方性エッチングによる半導体のマイクロ・ナノ規則構造体の作製
結晶異方性エッチングによる半導体のマイクロ・ナノ規則構造体の作製
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晶体各向异性刻蚀制备半导体微纳有序结构
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
小野幸子,阿相英孝
中科院分区：
文献类型：
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作者：
越崎 直人;Yue Li;石川 善恵;宮崎忠;小野幸子,阿相英孝
