Y.Li: "Control of sputtering in a large-diameter magnetron-typed rf discharge" Proc. 12th Symp. on Plasma Processing. 143-146 (1995)
Y.Li: "Control of sputtering in a large-diameter magnetron-typed rf discharge" Proc. 12th Symp. on Plasma Processing. 143-146 (1995)
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Y.Li：“大直径磁控管型射频放电中的溅射控制”Proc。
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