T.Kotani, K.Fujiuchi, T.Yasui, H.Tahara, T.yoshikawa: "Deposition of CNx films by reactive sputtering and pulsed laser ablation with substrate bias"Proceedings of 20th Symposium on Plasma Processing. 19-20 (2003)
T.Kotani, K.Fujiuchi, T.Yasui, H.Tahara, T.yoshikawa: "Deposition of CNx films by reactive sputtering and pulsed laser ablation with substrate bias"Proceedings of 20th Symposium on Plasma Processing. 19-20 (2003)
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T.Kotani、K.Fujiuchi、T.Yasui、H.Tahara、T.yoshikawa：“通过反应溅射和基板偏压脉冲激光烧蚀沉积 CNx 薄膜”第 20 届等离子体加工研讨会论文集。
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