Sputtering Effect and Enhancement of Surface Migration Induced by Low Energy Photoemission-Assisted Plasma
Sputtering Effect and Enhancement of Surface Migration Induced by Low Energy Photoemission-Assisted Plasma
复制标题
低能光电辅助等离子体诱导的溅射效应及表面迁移增强
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Shuichi Ogawa and Yuji Takakuwa
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Saijian Ajia;Yuki Kotanigawa;Shuichi Ogawa and Yuji Takakuwa
