Force Control for Ultraprecision Hybrid Electric-Pneumatic Vertical-Positioning Device
Force Control for Ultraprecision Hybrid Electric-Pneumatic Vertical-Positioning Device
复制标题
超精密电-气混合垂直定位装置的力控制
DOI：
10.1504/ijhm.2021.116948
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发表时间：
2021
影响因子：
5.1
通讯作者：
Kohei Shimazaki
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Tomonori Kato;Youwei Xu;Tomohiro Tanaka;Kohei Shimazaki
