シリコンのドライ酸化とウェット酸化の統一運動理論
シリコンのドライ酸化とウェット酸化の統一運動理論
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硅干湿氧化统一动力学理论
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
大泊 巌
中科院分区：
文献类型：
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作者：
渡邉 孝信;大泊 巌
