パラジウムナノ粒子/ポリマーハイブリッド層を利用したプラスチックフィルム表面上の銅配線形成

パラジウムナノ粒子/ポリマーハイブリッド層を利用したプラスチックフィルム表面上の銅配線形成
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使用钯纳米颗粒/聚合物混合层在塑料薄膜表面形成铜布线

DOI:
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发表时间:
2011
期刊:
第21回マイクロエレクトロニクスシンポジウム論文集
影响因子:
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通讯作者:
松川公洋
松川公洋
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
玉井聡行;渡辺充;渡瀬星児;松川公洋

文献摘要

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