気固原料同時供給PECVD法による3成分系複合薄膜の作製
気固原料同時供給PECVD法による3成分系複合薄膜の作製
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气固原料同时供给PECVD法制备三组分复合薄膜
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
島田 学
中科院分区：
文献类型：
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作者：
島田一雲;久保 優;島田 学
