Effect of water vapor pressure on positive and negative tone electron-beam patterning of PMMA

Effect of water vapor pressure on positive and negative tone electron-beam patterning of PMMA
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水蒸气压对 PMMA 正负调电子束图案化的影响

DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
Ion and Photon Beam Technology and Nanofabrication
影响因子：
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通讯作者：
J. Todd Hastings
J. Todd Hastings
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
Deepak Kumar;J. Todd Hastings

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