水素含有ダイヤモンドライクカーボン膜の昇温脱離質量分析と熱処理による特性変化
水素含有ダイヤモンドライクカーボン膜の昇温脱離質量分析と熱処理による特性変化
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含氢类金刚石碳膜的程序升温解吸质谱分析及热处理引起的性能变化
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
他
中科院分区：
文献类型：
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作者：
角口公章;滝川浩史;他
