New Nb multi-layer fabrication process for large-scale SFQ circuits
New Nb multi-layer fabrication process for large-scale SFQ circuits
复制标题
用于大规模SFQ电路的新型铌多层制造工艺
DOI：
10.1016/j.physc.2009.05.219
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发表时间：
2009
影响因子：
1.7
通讯作者：
N. Yoshikawa
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S. Nagasawa;T. Satoh;K. Hinode;Y. Kitagawa;M. Hidaka;H. Akaike;A. Fujimaki;K. Takagi;N. Takagi;N. Yoshikawa
