その場TEM機械試験用荷重負荷MEMSデバイスに供する試料作製法の検討
その場TEM機械試験用荷重負荷MEMSデバイスに供する試料作製法の検討
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用于原位 TEM 机械测试的承载 MEMS 器件的样品制备方法检验
DOI：
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发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
幾原 雄一
中科院分区：
文献类型：
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作者：
曹 旻鑒;栃木 栄太;佐藤 隆昭;柴田 直哉;藤田 博之;幾原 雄一
