Three-dimensional structure of dislocation in silocon determined by synchrotron white x-ray topography combined with a topo-tomographic technique
Three-dimensional structure of dislocation in silocon determined by synchrotron white x-ray topography combined with a topo-tomographic technique
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同步加速器白光X射线形貌结合地形断层技术确定硅片中位错的三维结构
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
梶原堅太郎
中科院分区：
文献类型：
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作者：
川戸清爾;太子敏則;飯田敏;鈴木芳文;近浦吉則;梶原堅太郎
