Enhancement of epitaxial lateral overgrowth in the mist chemical vapor deposition of α-Ga2O3 by using a-plane sapphire substrate

Enhancement of epitaxial lateral overgrowth in the mist chemical vapor deposition of α-Ga2O3 by using a-plane sapphire substrate
复制标题

使用a面蓝宝石衬底增强α-Ga2O3喷雾化学气相沉积中的外延横向过度生长

DOI:
10.7567/1347-4065/ab55c6
复制
发表时间:
2019
影响因子:
1.5
通讯作者:
Fujita Shizuo
Fujita Shizuo
中科院分区:
物理与天体物理4区
文献类型:
--
作者:
Jinno Riena;Yoshimura Nobuhiro;Kaneko Kentaro;Fujita Shizuo

文献摘要

相似文献