GaN結晶内転位の高速3次元計測を目指した球面収差補正の検討
GaN結晶内転位の高速3次元計測を目指した球面収差補正の検討
复制标题
GaN晶内位错高速三维测量球差校正研究
DOI：
--
复制
发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
三浦 祐樹,土屋 裕祐,小澤 祐市,上杉 祐貴,佐藤 俊一
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Weng H. K.;Nagakubo A.;Watanabe H.;Ogi H.;Tomoya Okino;Shiori Sato;三浦 祐樹,土屋 裕祐,小澤 祐市,上杉 祐貴,佐藤 俊一
