マルチマイクロホローカソード光源を用いたIZO膜成膜スパッタプロセスにおける金属原子密度のモニタリング
マルチマイクロホローカソード光源を用いたIZO膜成膜スパッタプロセスにおける金属原子密度のモニタリング
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利用多微空心阴极光源监测IZO薄膜沉积溅射过程中金属原子密度
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
堀勝
中科院分区：
文献类型：
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作者：
田子多直樹;太田貴之;伊藤昌文;東島康裕;加納浩之;田昭治;堀勝
