酸化物DSAに向けた酸化物薄膜の自己組織化ナノ構造に与えるテンプレートパターンの影響

酸化物DSAに向けた酸化物薄膜の自己組織化ナノ構造に与えるテンプレートパターンの影響
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模板图案对氧化物薄膜自组装纳米结构对氧化物 DSA 的影响

DOI:
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发表时间:
2017
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
田中 秀和
田中 秀和
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
譚 ゴオン;李 明宇;中川原 修;服部 梓;田中 秀和

文献摘要

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