Gaイオン照射した窒化シリコン薄膜へのGaN成長におけるイオン照射エネルギーの影響（II）
Gaイオン照射した窒化シリコン薄膜へのGaN成長におけるイオン照射エネルギーの影響（II）
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离子辐照能量对Ga离子辐照氮化硅薄膜上GaN生长的影响（二）
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
柳沢 淳一
中科院分区：
文献类型：
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作者：
松井 祐斗;アザマト オシュラフノフ;柳沢 淳一
