Development of Low-Cost, High-Performance Non-Evaporable Getter (NEG) Pumps
Development of Low-Cost, High-Performance Non-Evaporable Getter (NEG) Pumps
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开发低成本、高性能非蒸发吸气剂 (NEG) 泵
DOI：
10.1063/1.4952838
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and T. Kikuchi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K. Mase;M. Tanaka;N. Ida;H. Kodama;and T. Kikuchi
