サファイアr面基板上へのScN薄膜のヘテロエピタキシャル成長
サファイアr面基板上へのScN薄膜のヘテロエピタキシャル成長
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蓝宝石r面衬底上ScN薄膜的异质外延生长
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
羽田肇
中科院分区：
文献类型：
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作者：
大垣武;坂口勲;大橋直樹;羽田肇
