Electrochemical Formation of Silicides on Si Wafer in Molten Salt
Electrochemical Formation of Silicides on Si Wafer in Molten Salt
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硅片在熔盐中电化学形成硅化物
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
T. Goto
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S. Ueda;T. Goto
