Designing of Meters-Scale Ultra-Large Area RF Plasma Sources Sustained with Multiple Low-Inductance-Antenna Modules
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多低电感天线模块维持的米级超大面积射频等离子体源设计
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Y.Setsuhara
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T.Mano;O.Sugiyama;Y.Shibuya;H.Nakayama;O.Takai;Y.Setsuhara;Y.Setsuhara
