ステンレス鋼のスパッタエッチングによって形成された微細突起物の強度に及ぼすプラズマ窒化の影響
ステンレス鋼のスパッタエッチングによって形成された微細突起物の強度に及ぼすプラズマ窒化の影響
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等离子渗氮对不锈钢溅射刻蚀微凸体强度的影响
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
中佐啓治郎，山本旭宏，王 栄光，李木経孝
中科院分区：
文献类型：
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作者：
中佐啓治郎;山本旭宏;王栄光;李木経孝;中佐啓治郎，山本旭宏，王 栄光，李木経孝
