ビトリファイドボンド砥石とフッ素系プラズマを用いたドレスフリー研磨法の開発
ビトリファイドボンド砥石とフッ素系プラズマを用いたドレスフリー研磨法の開発
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使用陶瓷结合剂磨石和氟基等离子体的免修整抛光方法的开发
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
孫栄硯，陶通，川合健太郎，有馬健太，山村和也
中科院分区：
文献类型：
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作者：
R. Ishikawa;M. Hara;H. Tanaka;M. Kaneko;and T. Kimoto;孫栄硯，陶通，川合健太郎，有馬健太，山村和也
