ベッセルビームを用いたフッ素ドープ酸化スズ薄膜のナノ秒パルスレーザスクライビング
ベッセルビームを用いたフッ素ドープ酸化スズ薄膜のナノ秒パルスレーザスクライビング
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使用贝塞尔光束对掺氟氧化锡薄膜进行纳秒脉冲激光划片
DOI:
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发表时间:
2015
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
キムビョンギ
中科院分区:
文献类型:
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作者:
Yutaka Tabuchi;Seiichiro Ishino;Atsushi Noguchi;Toyofumi Ishikawa;Rekishu Yamazaki;Koji Usami;Yasunobu Nakamura;キムビョンギ