デジタル画像相関法を用いたスラリーフローの定量評価研究-揺動制御ラッピング方式におけるスラリーフローと研磨特性の相関関係-
デジタル画像相関法を用いたスラリーフローの定量評価研究-揺動制御ラッピング方式におけるスラリーフローと研磨特性の相関関係-
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利用数字图像相关法定量评价浆料流动性的研究-摇摆控制研磨法中浆料流动性与抛光特性的相关性-
DOI:
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发表时间:
2010
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
石川憲一
中科院分区:
文献类型:
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作者:
畝田道雄;村田慎太郎;石川憲一