Real-time measurement of one-dimensional step profile with a sinusoidal wavelength-scanning interferometer using double feedback control
Real-time measurement of one-dimensional step profile with a sinusoidal wavelength-scanning interferometer using double feedback control
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使用双反馈控制的正弦波长扫描干涉仪实时测量一维阶梯轮廓
DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
T.Suzuki
中科院分区：
文献类型：
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作者：
O.Sasaki;K.Honma;T.Suzuki
