マグネトロンスパッタリングにおける基板入射イオンエネルギー分布関数の測定
マグネトロンスパッタリングにおける基板入射イオンエネルギー分布関数の測定
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磁控溅射中基片入射离子能量分布函数的测量
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
石場 将希，喜納 淳，松田 良信，古里友宏，山下敬彦
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Yoshinobu Mastuda;Naoki Matsuo;Masaki Ishiba;Tomohiro Furusato;and Takahiko Yamashita;石場 将希，喜納 淳，松田 良信，古里友宏，山下敬彦;石場 将希，喜納 淳，松田 良信，古里友宏，山下敬彦
